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Modifikaciya svojstv ITO plenok pri ionno- luchevoj obrabotke

Zakirova:Modifikaciya svojstv ITO pleno
Autor: Raushaniya Zakirova / Petr Krylov / Irina Fedotova
Verfügbarkeit: nur noch 3 lieferbar
Artikelnummer: 1191410
ISBN / EAN: 9783659682957

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Zusatzinformation

Produktbeschreibung

Dannaya kniga yavlyaetsya obobshheniem raboty avtorov v ramkah dissertacionnoj raboty Zakirovoj R.M. V knige opisano primenenie oblucheniya nizkojenergeticheskimi ionami dlya modifikacii svojstv tonkih plenok, v chastnosti oxida indiya, legirovannogo olovom. Pokazano, chto ispol'zovanie ionno-luchevoj obrabotki, cheredujushhejsya s processom reaktivnogo VCh magnetronnogo raspyleniya, pozvolyaet poluchat' prozrachnye provodyashhie pokrytiya pri nizkih (25 - 50 °C) temperaturah osazhdeniya

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